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真空泵的種類及其工作范圍

發(fā)布時間：2012-04-26 12:21:00    點擊：

真空泵的種類及其工作范圍
 
真空泵 工作范圍(托) 真空泵 工作范圍(托)
旋片真空泵 760~5×10-4 往復(fù)真空泵 760~10-2
滑閥真空泵 760~5×10-3　　 吸附泵 760~10-4
油增壓泵 10-1~10-4 濺射離子泵 10-4~10-10
羅茨真空泵 10-1~10-4　　 鈦升華泵 10-3~10-10
油擴散泵 10-3~5×10-7　　 分子泵 10-3~10-10
水環(huán)真空泵 760~25 低溫泵 10-3~10-10

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